EXPOSÉ
TE_039[2017]

Leitfähigkeitsmessungen mit „Plasma-Elektrode“



Zweipunktmessung, Vierpunktmessung, Schichtwiderstand, berührungslose Leitfähigkeitsmessung
(Patentanmeldung / Technologie / Verfahren)

Leitfähigkeitsmessungen mit „Plasma-Elektrode“

Kurzbeschreibung:
Das hier vorgestellte neue Verfahren "Leitfähigkeitsmessungen mit Plasma-Elektrode" erlaubt die Widerstandsmessung an dünnen Schichten mit weniger Messkontakten sowie aus größerer Distanz. Die Technologie ist interessant für die großtechnische Herstellung von leitfähigen Schichten, etwa für Separatorfolien in der Fabrikation von Batterien sowie Akkumulatoren, der Chip-Herstellung u.a.

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Erfinder:
Prof. Dr. Karl-Michael Weitzel, BSc. Jan Wiemer



Kontakt:
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